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  • 產品名稱:半導體制造密封件

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氟橡膠(FKM)是一種含氟原子的合成高分子彈性體,具有耐高溫、耐油、耐化學腐蝕等特性,在半導體制造中主要用于設備密封件,但傳統FKM在等離子體環境下易老化產生顆粒污染;當前半導體密封件主流材料為全氟醚橡膠FFKM),性能更優但成本更高,國產化率仍在提升中。
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